電容位移傳感器是一種非接觸電容式原理的精密測(cè)量?jī)x器，具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。
電容式位移傳感器：非接觸式高分辨率近距離位移測(cè)量
美國Microsense公司(前身是ADE Technologies, KLA_TENCOR的子公司)開創(chuàng)了高辨率電容式位移傳感器的先河，致力于為客戶提供以藝術(shù)級(jí)別性能的高精度非接觸式微位移傳感器。
電容式位移傳感器特性
1.*非接觸式電容式微位移測(cè)量—準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù), 無損樣品測(cè)量
2.優(yōu)化的近距離測(cè)量—測(cè)量距離在10微米到5毫米
3.高準(zhǔn)確性，高靈敏性測(cè)量，精度可達(dá)0.5nm。
4.可探測(cè)任何可傳導(dǎo)性、接地的測(cè)量目標(biāo)—表面是否拋光以及材質(zhì)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度無任何影響
5.用途廣泛: 金屬薄片厚度測(cè)量,振動(dòng)測(cè)量,工作臺(tái)垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測(cè)量,精密馬達(dá)轉(zhuǎn)軸偏振測(cè)量(Axial, Radial, Spindle runout),精密儀器工作平臺(tái)定 位，設(shè)備自動(dòng)聚焦測(cè)量(微影設(shè)備，原子力顯微鏡，光罩探測(cè)，圖像確認(rèn)，LCD生產(chǎn)設(shè)備…)
4800系列 5800系列6800系列8800系列 6360厚度測(cè)量系統(tǒng)
4800系列 以至優(yōu)化的線性和穩(wěn)定性著稱, 一款多功能測(cè)量設(shè)備
5800系列 以高動(dòng)態(tài)測(cè)量著稱--高分辨率測(cè)量，可達(dá)100Khz 帶寬測(cè)量，可靠性測(cè)量甚至達(dá)觸
地物例如氣動(dòng)轉(zhuǎn)子和馬達(dá)
6800系列 擁有皮米級(jí)別噪聲分辨率
8800系列 以擁有*好的線性和穩(wěn)定性系統(tǒng)著稱，測(cè)量帶寬高達(dá)20K HZ,納米級(jí)分辨率，超低
噪聲上乘的伺服定位反饋系統(tǒng)設(shè)計(jì)
Mini系列 迷你壓縮型傳感器測(cè)量系統(tǒng)
6360系列 非接觸式，高精度測(cè)量硅片、CD、DVD、光盤厚度
圓柱型測(cè)量探頭 45°傾角測(cè)量探頭 矩型測(cè)量探頭 直角型測(cè)量探頭
圓柱型測(cè)量探頭探頭直徑0.5mm 到5mm 可選
45°傾角測(cè)量探頭 可緊貼圓柱形被測(cè)物測(cè)量
矩型測(cè)量探頭 測(cè)量馬達(dá)及軸向轉(zhuǎn)動(dòng)物時(shí)可提供*大分辨率
直角型測(cè)量探頭用于測(cè)量受限空間測(cè)量
設(shè)備應(yīng)用
定位測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：遠(yuǎn)程位置調(diào)節(jié)器的伺服反饋系統(tǒng)應(yīng)用
間距和位移測(cè)量應(yīng)用 ：空間測(cè)量及檢測(cè) 軸向位移測(cè)量
轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：馬達(dá)精度和轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)量 轉(zhuǎn)軸測(cè)量計(jì)精度校準(zhǔn)測(cè)量 直線和平面平臺(tái)精度測(cè)量
厚度測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：磁性介質(zhì)厚度測(cè)量 光盤厚度測(cè)量
自動(dòng)聚焦和歸零測(cè)量應(yīng)用：半導(dǎo)體硅片測(cè)量
振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用：樣品臺(tái)精度振動(dòng)測(cè)量 轉(zhuǎn)軸振動(dòng)精度測(cè)量 主動(dòng)性防震系統(tǒng)反饋測(cè)量
設(shè)備性能及主要參數(shù)
1.量程： ±25µm 到±1000µm滿量程測(cè)量
2.分辨率： 優(yōu)于2 nm (r.m.s.) @ 1 kHz
3.帶寬： 1 kHz, 5 kHz, 20 kHz, 100 kHz 可選
產(chǎn)品型號(hào)：Microsense 5810/6810