薄膜應(yīng)力測(cè)試儀是一種用于測(cè)量物體內(nèi)部或表面應(yīng)力的設(shè)備。它通?；诓煌砉ぷ?，包括應(yīng)變計(jì)、壓電傳感器和光學(xué)原理等。
通過(guò)薄膜應(yīng)力測(cè)試儀可以獲得薄膜材料在制備、加工或使用過(guò)程中的應(yīng)力分布情況，從而幫助工程師和研究人員了解薄膜材料的性能特征、穩(wěn)定性和耐久性。這對(duì)于薄膜材料的設(shè)計(jì)、優(yōu)化以及質(zhì)量控制具有重要意義。
薄膜應(yīng)力測(cè)試儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域，為材料研究、工程設(shè)計(jì)和生產(chǎn)制造提供了重要的測(cè)試和分析手段。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，薄膜應(yīng)力測(cè)試儀的精度、靈敏度和測(cè)量范圍也在不斷提升，為相關(guān)領(lǐng)域的科研和工程實(shí)踐提供了有力支持。
應(yīng)變計(jì)是常用的應(yīng)力測(cè)量?jī)x之一。它利用材料在受力時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)變來(lái)測(cè)量應(yīng)力。應(yīng)變計(jì)將應(yīng)變轉(zhuǎn)化為電阻、電壓或電流信號(hào)，并通過(guò)測(cè)量這些信號(hào)來(lái)確定應(yīng)力水平。
壓電傳感器也被廣泛用于應(yīng)力測(cè)量。壓電材料具有將機(jī)械應(yīng)力轉(zhuǎn)化為電荷或電壓的特性。當(dāng)施加應(yīng)力時(shí)，壓電傳感器生成電荷或電壓信號(hào)，該信號(hào)可以被測(cè)量和分析以確定應(yīng)力值。
光學(xué)方法也可用于應(yīng)力測(cè)量。例如，光柵法利用光柵的形變來(lái)測(cè)量應(yīng)力。當(dāng)物體受到應(yīng)力時(shí)，光柵會(huì)發(fā)生形變，這種形變可以通過(guò)測(cè)量光柵上的光的位移來(lái)確定應(yīng)力水平。
除了這些基本原理外，還有其他類型的應(yīng)力測(cè)量?jī)x，如超聲波、磁性和熱敏傳感器等。這些測(cè)量?jī)x器可以適用于不同的應(yīng)用領(lǐng)域，包括工程、材料科學(xué)、航空航天和生物醫(yī)學(xué)等。
德國(guó)ilis公司成立于1998年，專業(yè)研發(fā)制造高精度應(yīng)力雙折射分析軟件與測(cè)量設(shè)備，高精度型StrainMatic M4應(yīng)力測(cè)量?jī)x采用成像式光彈原理，直接測(cè)量光延遲，可以快速給出高分辨率的高精度測(cè)量結(jié)果?？蓪?duì)玻璃、晶體、塑料等透明物體等內(nèi)在殘余應(yīng)力進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試精度可達(dá)<0.1nm。
產(chǎn)品具有測(cè)量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn)，對(duì)大尺寸樣品可拼接測(cè)量。其應(yīng)力測(cè)量設(shè)備用戶遍及*，用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。
主要產(chǎn)品有三大系列：M系列高精度型；Flex系列可試式實(shí)時(shí)應(yīng)力儀；S系列實(shí)時(shí)型；M系列大口徑拼接型；
產(chǎn)品型號(hào)：